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张笑瑜季华实验室知识产权处处长助理
追溯人类工业文明的演进历程，可以发现，每一次产业跃升的背后，都离不开关键装备技术的突破。我还清楚地记得当我第一次走进季华实验室半导体技术研究部的大楼，一位资深工程师指着半成型的射频电源说：“这就是刻蚀机的‘心脏’。”他语气严肃，“没有它，再好的设计都是纸上谈兵。”
作为如今季华实验室的知识产权管理和技术转移转化人员，那时我还不知道，这句话会引领我走上一条充满挑战的科技创新攻坚之路。
射频电源是半导体制造的核心命脉，它关系着半导体材料生长、改性、精密刻蚀、电极沉积、清洗等每一个精密制程。一台先进刻蚀机需要数十个这样的模块，其性能直接决定着芯片制造的成败。然而就是这样一个关键设备，却长期受制于人。为此，季华实验室半导体技术研发团队决定向半导体装备最核心的射频电源技术发起攻坚。
科研攻坚的日子像一场没有硝烟的战争。在广东省重点领域研发计划“芯片制造设备核心部件研发及制造项目”和国家重大科技攻关项目立项支持下，我们开启了夜以继日的攻坚之路。实验室里，科研人员们常常为了一个参数争得面红耳赤；办公室里，灯光总是从暮色沉沉亮到天明。
终于，在历经无数次的失败与调整后，我们成功了！团队自主研发的射频电源能提供频率为13.56MHz，最大功率分别为600W、1200W、3000W的射频能量，输出功率连续可调，功率精度可达到1W，频率精度为±0.005%，整机效率≥70%，是一种高性能、低成本的射频发生器，拥有自主知识产权，更达到了“整体国际先进、部分国际领先”的水平。那一刻，实验室里掌声雷动，有人悄悄抹了抹眼角的泪。
技术研发只是上半场，如何让它走出实验室、切实用起来，才是真正的考验。
那段时间，我白天与团队打磨技术细节，晚上研读相关政策文件。我明白，没有清晰的权属与激励机制，再好的技术也可能被束之高阁。结合实验室实际，我起草了《季华实验室科技成果转化管理办法实施细则》。那些日子，办公室成了临时的“政策研究室”，墙上贴满了各种条款解读。经过无数个不眠之夜，我们交出了答卷，在制度层面推进科技成果所有权、使用权和收益权改革，进一步发挥科技人员、管理人员和科技成果等创新要素在发展新质生产力中的作用。我们要做的不仅是一次技术转让，更是一场制度创新的实验。
令人欣喜的是，新机制很快显现成效。仅用两个月时间，我就牵头完成了射频电源的技术转移工作，将20件核心专利作价5000多万元注入佛仪科技（佛山）有限公司，为团队引进了7500万元社会资本。当看到技术团队与产业方握手签约时，我内心涌起难以言表的激动。这一成果不仅彰显了季华实验室在科技成果转化方面的高效运作能力，也体现了制度创新对科技资源优化配置的积极影响。
如今，每每走进该公司的生产车间，听到机器运转的轰鸣声，看到技术人员专注的神情，我心中总会充满无限感慨，那些曾被国外垄断的技术，现在终于有了我们自己的产业化路径。
我有幸亲历并推动了这场属于我国半导体装备的“涅槃重生”。回望来时路，我忽然明白，所谓自主创新，并不仅仅是某一项技术的单点突破，而是研发攻坚、制度创新、产业落地环环相扣的整体推进。这条道路充满挑战，却也充满希望，我们将坚定地走下去，朝着技术自主、产业自强的目标，步履不停。
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